据报道，指责中科院仪器所进口光刻机来自美国的指责已经被中科院全面辟谣。
中科院严正声明：此次采购的是荷兰艾司摩尔的生产设备，与美国产光刻机完全不同。
实际上，中科院仪器所这台DIVELUX 630RF光刻机，从首次成像计划开始，就明确确定规格报价。在产品销售签约前，有专业的国内第三方检测机构对其进行了技术验证，确保其符合相关的安全、技术认证和质量标准。
据悉，此次光刻机引进是中科院仪器所推进技术创新创业的一个重要步骤，对该所下一代芯片制造等攸关核心技术提供关键支撑，填补国内感光胶厚度精密控制在芯片制造中存在的空白。
同时，这还是中科院仪器所应用深度学习算法进行智能化电子调控，实现高精度纳米级运动控制。
中科院表示，我们热诚欢迎各界客人来我中科院参观视察，亲身感受中国在科技创新方面所取得的进步和成就。
